“情况并不是很乐观，无论是电子束光刻还是离子刻蚀这些加工技术的精度都不够。”
“我看过两条路线最近这一周的实验研究数据，超表面加工路线的精度还比不上您尝试动态调控方案。目前能制备出来的光子时空晶体结构仅仅是个位数纳米级别的，远达不到要求。”
说到这，童圣福教授转过身来，看向徐川，皱着眉头开口道：“如果想要尝试在光刻加工的这条路上提升精度，或许我们应该尝试一下光刻机的线路。”
“虽然光刻机的精度远比不上电子束直写的超高精度，但它的稳定性和可控性更好，也更适合大规模的批量化生产。”
闻言，徐川轻轻的摇了摇头，开口道：“光刻机虽然能够做到纳米级的超精细加工，但它和时空晶体结构间隙的处理不是同一条路线。”
“而且使用光刻机对时空光子晶体的结构进行加工的话，你还需要研究出来超洁净化学试剂、光掩膜版、蚀刻液等材料。难度不会比现有的离子刻蚀加工技术低。”
说到这，徐川停下来思索了一下，接着道：“不过这或许可以尝试一下，我这边让人去魔都微电子那边购买几台14纳米的光刻机过来。”
“到时候这条路线由你带人尝试一下。”
童圣福教授点点头，道：“可以，那您呢？”
徐川想了想，开口道：“我准备从计算材料学的路线上再尝试一下，看看是否能够找到一些其他的线索。”
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